Bij de productie van halfgeleiders blijft na het snijden van de wafers een UV-sensitieve laag over. Deze laag moet zorgvuldig worden verwijderd – zonder hitte, zonder resten en zonder schade aan de halfgeleider. Kies je de verkeerde lamp, dan blijft er een kleeflaag over die niet gemakkelijk kan worden verwijderd. Dat betekent dat er opnieuw moet worden gewerkt, waardoor de productie wordt vertraagd.
Wij hebben speciale UV-lampen ontworpen voor dit doel: ze leveren een precies gedefinieerd spectrum af, zodat de laag snel en onder controle kan worden verwijderd.
Wat technisch gezien belangrijk is Het gaat om de overeenstemming tussen golflengte en absorptieband van de fotoinitiator in de laag. De lamp moet worden ingesteld op de juiste golflengte – meestal rond de 365 nm. De spectrale breedte moet precies bepaald worden, en de uitgangssterkte moet constant blijven. De piekirradiantheid moet precies op het werkoppervlak worden gegenereerd, en de energiedichtheid moet op een reproduceerbare manier worden bereikt, in eenheid van mJ/cm².
De kwartsmantel en de reflectoren zijn zo ontworpen dat er zoveel mogelijk UV-straling beschikbaar komt op de plekken waar het nodig is. Het ozonvrije ontwerp zorgt er bovendien voor dat de zuivere omgeving in de productieruimte behouden blijft. Als we het hebben over de uitgangssterkte, bedoelen we de spectrale radiometrie, niet alleen commerciële claims.
Waarom deze benadering werkt bij het verwijderen van de laag na het snijden Bij het verwijderen van de laag na het snijden zijn snelheid en controle even belangrijk. Onze lampen brengen de laag in contact met een uniform UV-veld, zodat alle delen van de laag op hetzelfde moment dezelfde hoeveelheid UV-straling krijgen.
Deze uniformiteit voorkomt dat er oneffenheden ontstaan of dat de laag niet volledig wordt verwijderd. Hierdoor blijven de productietijden kort en blijft de kracht die nodig is om de laag te verwijderen constant. Het resultaat is minder microbarsten in de halfgeleiders, minder herwerkingswerk en een betrouwbare productiecapaciteit. De energieverbruik neemt af, omdat de lamp de vereiste energiedichtheid bereikt, zonder energie te verspillen aan andere golflengten.
Details die je niet mag negeren Omdat de lampen onder water worden gebruikt, moet je goed opletten op de compatibiliteit met het koelmiddel en op de afsluiting van de lamp. Zorg ervoor dat het materiaal van de lamp past bij de chemische samenstelling van het koelmiddel, en houd de stromingsnelheid op het gewenste niveau, zodat de kwartsmantel op de juiste temperatuur blijft.
De stabiliteit van de uitgangssterkte hangt af van de stabiele stroomsterkte en de leeftijd van de lamp. Plan daarom vervangingen op basis van de gemeten irradiantheid, en niet alleen op basis van het aantal uren dat de lamp al draait. Zorg er ook voor dat de lamp goed past in het apparaat, en dat de reflectoren goed gericht zijn op de laag, zodat er geen schaduwen ontstaan.