На лінії виробництва напівпровідників під час розрізання пластин залишається шар, чутливий до УФ-випромінювання. Цей шар необхідно повністю видалити – без використання тепла, без залишків та без пошкодження самої пластини. Якщо обрати неправильну лампу, то залишиться клей, який не дозволить прибрати цей шар. Це означає необхідність повторної обробки, що призводить до зниження продуктивності.
Ми створили підводні УФ-лампи саме для цієї мети: вони забезпечують правильний спектр випромінювання, що дозволяє швидко та ефективно видаляти цей шар.
Що насправді має значення з технічної точки зору
Усе зводиться до узгодження довжини хвилі випромінювання. Лампу потрібно налаштувати так, щоб її випромінювання збігалося з діапазоном поглинання фотоініціатора – зазвичай близько 365 нм. Також важливо підтримувати стабільність спектру та стабільну потужність випромінювання. Максимальна інтенсивність випромінювання визначається на рівні робочої поверхні, а енергія випромінювання подається у формі стабільної дози в мДж/см².
Геометрія кварцового корпусу та відбивача дозволяє забезпечити більш ефективне використання УФ-випромінювання там, де це необхідно. Дизайн без озону допомагає підтримувати чистоту у приміщенні. Коли мова йде про потужність випромінювання, ми маємо на увазі саме спектральну радіометрію, а не рекламні обіцянки.
Чому цей підхід ефективний під час видалення шару після розрізання
Під час видалення шару після розрізання важливі швидкість та контроль. Наші підводні пристрої занурюють пластину в однорідне поле випромінювання, тож весь шар отримує однакову дозу випромінювання в один і той самий час.
Ця однорідність запобігає підняттю країв пластини та неповному відокремленню її від основи. Це, у свою чергу, дозволяє зберегти стабільність часу обробки та сили відокремлення пластини. Результатом є менше мікротріщин на делікатній пластині, менше необхідності у повторній обробці та можливість точного планування продуктивності. Використання енергії зменшується, оскільки лампа подає необхідну кількість енергії саме туди, де це потрібно, без витрати енергії на інші ділянки.
Деталі, на які не можна не звернути уваги
При роботі під водою необхідно звертати увагу на сумісність охолоджуючої рідини та герметичність пристрою. Потрібно переконатися, що матеріал оболонки лампи сумісний з вашою охолоджуючою рідиною, а також підтримувати правильний рівень потоку рідини, щоб кварцовий корпус функціонував при заданій температурі.
Стабільність випромінювання залежить від стабільності живлення та віку лампи. Тому заміну лампи потрібно планувати на основі виміряної інтенсивності випромінювання, а не лише кількості годин її роботи. Також потрібно переконатися, що лампа підходить за розмірами до вашого пристрою, а відбивач правильно розташований щодо пластини, щоб уникнути тіней.