半導体製造工程において、ウェーハを切断すると、UVに敏感な薄膜が残ります。この薄膜は、熱を使わず、残渣を残さず、かつチップに損傷を与えることなく除去する必要があります。適切でないランプを使用すると、接着剤が取れず、再処理が必要になります。その結果、生産効率が低下してしまいます。
私たちは、まさにこのような状況に対処するために、水中で使用可能なUV殺菌ランプを開発しました。正確な波長の光を照射することで、迅速かつコントロールされた形で薄膜を剥がすことができます。
技術的に重要なのは何か 重要なのは、波長の適合性です。ランプの設定は、薄膜の光重合開始剤が吸収する波長帯、通常は365nm付近に設定されます。また、スペクトル幅を狭く保ち、出力を安定させることが重要です。ピーク放射強度は作業面で正確に指定され、硬化エネルギー密度はmJ/cm²単位で一定に保たれます。
石英製のケースや反射器の形状は、必要な場所に十分なUV光を届けるように設計されています。オゾンフリーの設計により、クリーンルームの環境が維持されます。そして、出力というのは、マーケティング上の主張ではなく、実際のスペクトル放射測定値を指します。
なぜこの方法が有効なのか 切断後の薄膜の剥離処理においては、速度とコントロールが同じ意味を持ちます。私たちの水中式ランプは、薄膜を均一な光の中に浸すことで、全体の接着部に同じ量の光が同時に当たります。
この均一性により、端部分の剥離や不完全な剥離が防がれ、結果として処理時間が短縮され、剥離力も一定になります。その結果、デリケートなチップに微細な亀裂が生じることが少なくなり、再処理も減り、生産効率が向上します。また、ランプが目的のエネルギー密度を正確に発揮するため、エネルギーの無駄遣いもなくなります。
見逃してはいけない詳細点 水中で使用するため、冷却剤との相性や密封性に注意する必要があります。ランプのケース材料が冷却剤と適合しているかを確認し、石英が設計通りの温度で動作するように流量を調整する必要があります。
出力の安定性は、安定した電力供給とランプの寿命に依存します。そのため、時間だけでなく、実際の放射強度の変化に基づいてランプの交換時期を判断する必要があります。また、ランプが装置の寸法に合っているかを確認し、反射器が薄膜の通過経路に正しく配置されているかを確認する必要があります。