Nella produzione di semiconduttori, il processo di taglio dei wafer lascia dietro di sé uno strato sensibile alle radiazioni UV; questo strato deve essere rimosso senza causare danni al wafer stesso, senza l’uso di calore e senza lasciare residui. Se si sceglie la lampada sbagliata, lo strato resterà attaccato al wafer, costringendo a un ulteriore lavoro di rettifica.
Abbiamo creato lampade UV per l’eliminazione dei batteri appunto per questo scopo: offrono un’emissione spettrale precisa, in modo che lo strato possa essere rimosso rapidamente e in modo controllato.
Ciò che è davvero importante dal punto di vista tecnico
È fondamentale che la lunghezza d’onda emessa dalla lampada corrisponda alla banda di assorbimento del fotoiniziatore presente nello strato da trattare, solitamente intorno ai 365 nm. Inoltre, è necessario mantenere una larghezza spettrale ridotta e una potenza costante. L’intensità di irradiazione massima deve essere concentrata esattamente sulla superficie da trattare, mentre l’energia necessaria per la polimerizzazione viene fornita in dosi precise, misurate in mJ/cm².
La struttura del rivestimento in quarzo e della geometria del riflettore sono state progettate per garantire un’emissione UV ottimale nei punti necessari. Un design privo di ozono permette di mantenere un ambiente pulito all’interno della sala di produzione. Quando parliamo di efficienza, ci riferiamo alla radiometria spettrale, non a promesse commerciali.
Perché questo approccio funziona nel processo di separazione dello strato dopo il taglio
Nel processo di separazione dello strato dopo il taglio, velocità e controllo sono parametri fondamentali. Le nostre lampade immergibili creano un campo di irradiazione uniforme, in modo che tutto lo strato venga trattato allo stesso modo e nello stesso tempo.
Questa uniformità previene il sollevamento degli angoli dello strato e garantisce una separazione completa dello stesso. In questo modo, i tempi di lavorazione rimangono costanti e la forza necessaria per staccare lo strato è costante. Il risultato è meno microfessure sui semiconduttori, meno lavoro di rettifica e una produttività prevedibile. Inoltre, il consumo energetico diminuisce, poiché la lampada fornisce l’energia necessaria esattamente dove serve, senza sprechi.
Dettagli che non si possono trascurare
L’uso di lampade immergibili richiede attenzione alla compatibilità con i fluidi di raffreddamento e alla tenuta ermetica. È necessario verificare che il materiale del rivestimento della lampada sia compatibile con i fluidi di raffreddamento utilizzati, e mantenere i flussi di fluido adeguati affinché il quarzo funzioni alla temperatura desiderata.
La stabilità dell’emissione luminosa dipende dalla stabilità dell’alimentazione e dall’età della lampada. Pertanto, è necessario sostituire la lampada in base alle misurazioni effettuate, e non solo in base al numero di ore di utilizzo. Assicuratevi inoltre che la lampada si adatti alle dimensioni del dispositivo in cui verrà installata, e che il riflettore sia allineato correttamente rispetto alla superficie da trattare, in modo da evitare ombreggiamenti.