अर्धचालक उत्पादन प्रक्रिया में, वेफरों को काटने के बाद एक ऐसी फिल्म शेष रह जाती है, जो यूवी किरणों के प्रति संवेदनशील होती है। इस फिल्म को बिना किसी गर्मी के, बिना किसी अवशेष के, एवं बिना डाइ को किसी नुकसान पहुँचाए ही हटाना आवश्यक है। यदि गलत लैम्प का उपयोग किया जाए, तो चिप चिपकी रह जाती है; इसके परिणामस्वरूप पुनः कार्य करना पड़ता है, एवं उत्पादन प्रक्रिया में देरी हो जाती है।
हमने ठीक इसी उद्देश्य हेतु “सबमर्सिबल यूवी जीर्मिसाइडल लैम्प” विकसित किए हैं – ऐसे लैम्प जिनका स्पेक्ट्रल आउटपुट बिल्कुल सही होता है, ताकि फिल्म को आसानी से एवं नियंत्रित तरीके से हटाया जा सके।
तकनीकी दृष्टि से क्या महत्वपूर्ण है?
यह तो तरंगदैर्घ्य के संतुलन पर ही निर्भर है। लैम्प को फिल्म के फोटोइनिशिएटर के अवशोषण बैंड पर सेट किया जाता है – आमतौर पर लगभग 365 नैनोमीटर। स्पेक्ट्रल चौड़ाई को नियंत्रित रखा जाता है, एवं आउटपुट को स्थिर रखा जाता है। चिप पर आवश्यक ऊर्जा घनत्व मिलेगा, एवं यह ऊर्जा mJ/cm² में ही दी जाती है।
क्वार्ट्ज आवरण एवं रिफ्लेक्टर की रचना ऐसी है कि आवश्यक स्थानों पर ही यूवी किरणें पहुँचें। ओजोन-मुक्त डिज़ाइन के कारण क्लीनरूम का वातावरण भी सुरक्षित रहता है। जब हम आउटपुट की बात करते हैं, तो हम तो स्पेक्ट्रल रेडियोमेट्री की ही बात कर रहे हैं, न कि किसी विज्ञापनीय दावे की।
पोस्ट-कट डीबॉन्डिंग में यह विधि क्यों कारगर है?
पोस्ट-कट डीबॉन्डिंग में गति एवं नियंत्रण दोनों ही महत्वपूर्ण हैं। हमारे सबमर्सिबल लैम्प, फिल्म को एक समान क्षेत्र में रखते हैं; इससे पूरी फिल्म पर एक ही समय में ऊर्जा पहुँचती है।
यही समानता ही किनारों के उठने एवं अपूर्ण डीबॉन्डिंग को रोकती है; इससे चक्र-समय भी स्थिर रहता है। परिणामस्वरूप, डाइ पर कम माइक्रो-टूटने होते हैं, पुनः कार्य करने की आवश्यकता नहीं पड़ती, एवं उत्पादन दर भी स्थिर रहती है। ऊर्जा की खपत भी कम हो जाती है, क्योंकि लैम्प आवश्यक ऊर्जा घनत्व ही प्रदान करता है, बिना ऊर्जा की बर्बादी के।
ऐसी विवरणों पर ध्यान देना आवश्यक है…
सबमर्सिबल ऑपरेशन में, कूलेंट की अनुकूलता एवं सीलिंग पर ध्यान देना आवश्यक है। लैम्प की सामग्री को कूलेंट की रासायनिक संरचना के अनुरूप ही चुनना आवश्यक है; साथ ही, क्वार्ट्ज को निर्धारित तापमान पर ही रखना आवश्यक है।
आउटपुट की स्थिरता, स्थिर बिजली आपूर्ति एवं लैम्प की उम्र पर ही निर्भर है; इसलिए लैम्प को उसके वास्तविक उपयोग-समय के आधार पर ही बदलना आवश्यक है। लैम्प को उपकरण के आकार के अनुरूप ही रखना आवश्यक है, एवं रिफ्लेक्टर को फिल्म के मार्ग के अनुरूप ही संरेखित करना आवश्यक है, ताकि कोई छाया न बने।