水中用UV滅菌ランプ

半導体製造工程において、ウェーハを切断すると、UVに敏感な薄膜が残ります。この薄膜は、熱を使わず、残渣を残さず、かつチップに損傷を与えることなく除去する必要があります。適切でないランプを使用すると、接着剤が取れず、再処理が必要になります。その結果、生産効率が低下してしまいます。 私たちは、まさにこ...