Trong quy trình chế tạo bán dẫn, việc cắt tấm wafer để lấy các chi tiết bán dẫn sẽ để lại một lớp phim nhạy cảm với tia UV. Lớp phim này cần được loại bỏ một cách hiệu quả – không được sử dụng nhiệt, không để lại chất thải, và cũng không làm hư hại đến các chi tiết bán dẫn. Nếu chọn loại đèn không phù hợp, lớp keo sẽ không thể được loại bỏ hoàn toàn. Điều này dẫn đến phải tiến hành gia công lại, và tỷ lệ sản phẩm thành phẩm sẽ giảm xuống.
Chúng tôi đã chế tạo ra những chiếc đèn diệt khuẩn bằng tia UV dạng ngâm trong chất lỏng, nhằm đáp ứng nhu cầu này: ánh sáng có bước sóng phù hợp, được điều chỉnh chính xác, giúp quá trình tách lớp phim diễn ra nhanh chóng và có kiểm soát.
Điều quan trọng về mặt kỹ thuật Điều quan trọng nhất chính là việc điều chỉnh bước sóng của tia UV. Bạn cần thiết lập đèn sao cho ánh sáng phù hợp với bước sóng hấp thụ của chất kích hoạt ánh sáng trong lớp phim – thường là khoảng 365 nm. Bạn cũng cần duy trì độ rộng của dải quang phổ ở mức ổn định, và giữ cho công suất đèn ổn định. Cường độ bức xạ tại vị trí cần xử lý cũng cần được kiểm soát chặt chẽ, với giá trị được tính bằng mJ/cm².
Vỏ đèn làm từ thạch anh và cấu trúc phản xạ được thiết kế sao cho tia UV có thể chiếu vào vùng cần xử lý một cách hiệu quả. Thiết kế không chứa ozone giúp duy trì môi trường trong phòng sạch. Khi nói về công suất đèn, chúng ta đang nói về chỉ số quang phổ, chứ không phải những thông số quảng cáo.
Tại sao phương pháp này hiệu quả trong quá trình tách lớp phim sau khi cắt Trong quá trình tách lớp phim sau khi cắt, tốc độ và khả năng kiểm soát là hai yếu tố quan trọng. Những chiếc đèn dạng ngâm trong chất lỏng của chúng tôi giúp tia UV chiếu đều lên toàn bộ chi tiết bán dẫn, giúp quá trình tách lớp phim diễn ra nhanh chóng và đồng đều.
Sự đồng đều này giúp tránh tình trạng mép lớp phim bị bong ra hoặc không tách hết, từ đó giúp giữ cho thời gian xử lý ổn định. Kết quả là ít xảy ra tình trạng nứt vỡ trên các chi tiết bán dẫn, giảm chi phí gia công lại, và giúp tăng năng suất sản xuất. Việc sử dụng năng lượng cũng giảm đi, vì đèn chỉ tạo ra cường độ năng lượng cần thiết tại vị trí cần xử lý, mà không lãng phí năng lượng ở những vùng khác.
Những chi tiết không thể bỏ qua Khi sử dụng đèn dạng ngâm trong chất lỏng, bạn cần chú ý đến tính tương thích giữa đèn và chất làm mát. Hãy kiểm tra chất liệu vỏ đèn để đảm bảo nó tương thích với chất làm mát được sử dụng. Bạn cũng cần kiểm soát lưu lượng chất làm mát sao cho đèn hoạt động ở nhiệt độ mong muốn.
Độ ổn định của công suất đèn phụ thuộc vào nguồn điện ổn định và tuổi thọ của đèn. Vì vậy, bạn cần thay thế đèn dựa trên mức độ suy giảm cường độ bức xạ, chứ không chỉ dựa vào thời gian sử dụng. Hãy đảm bảo rằng đèn phù hợp với kích thước của thiết bị lắp đặt, và đặt gương phản xạ sao cho ánh sáng chiếu đều lên lớp phim.