Yarı iletken üretim sürecinde, waferlerin kesilmesi sonucunda UV’e duyarlı bir film kalır; bu filmin temizlenmesi gerekir. Bu işlem sırasında ısı kullanılmamalı, herhangi bir kalıntı kalmamalı ve çip zarar görmemelidir. Yanlış lamba seçilirse, yapışkan madde kalır ve bu da yeniden işleme ihtiyacını doğurur.
Biz de tam olarak bu amaç için su altında çalışan UV dezenfeksiyon lambaları geliştirdik. Doğru spektral çıkış değerleri sayesinde, film kolayca ve kontrollü bir şekilde ayrılır.
Teknik açıdan önemli olan şeyler
Her şey dalga boyunun uyumuyla ilgilidir. Lamba, filmin fotoinisiyatörünün emilim bandına ayarlanır; genellikle 365 nm civarındadır. Spektral genişlik dar tutulmalı ve çıkış değeri sabit tutulmalıdır. Zirve ışınım yoğunluğu işlem yapılacak alanda belirlenir ve kuruma enerji yoğunluğu mJ/cm² cinsinden ifade edilir.
Kvarts kaplaması ve yansıtıcı geometrisi, ihtiyaç duyulan yerlere daha fazla UV ışığı ulaşmasını sağlar. Oksijensiz tasarım sayesinde temiz oda koşulları korunur. Çıkış değerlerinden bahsedildiğinde, burada pazarlama iddialarından ziyade spektral radyometri kastedilmektedir.
Bu yaklaşımın neden etkili olduğu
Kesim sonrası ayrıştırma işleminde hız ve kontrol aynı anlama gelir. Su altında çalışan cihazlarımız, filmi homojen bir alan içine sokar; böylece tüm bölge aynı anda aynı dozu alır. Bu homojenlik, kenarların kalkmasını ve eksik ayrışmayı engeller; bu da işlem sürelerini artırır ve ayrıştırma kuvvetinin sabit kalmasını sağlar. Sonuç olarak, hassas çiplerde daha az mikroçatlak oluşur, yeniden işleme gereksinimi azalır ve üretim verimliliği artar. Enerji tüketimi de azalır; çünkü lamba gereken enerji yoğunluğunu hedefe yönlendirir ve spektrum genelinde enerji israfı olmaz.
Atlanmaması gereken detaylar
Su altında çalışan cihazlar kullanılırken soğutucunun uyumluluğuna ve sızdırmazlığa dikkat edilmesi gerekir. Lambanın malzemesinin soğutucu kimyasallarıyla uyumlu olup olmadığı kontrol edilmelidir. Ayrıca, kvartstın istenen sıcaklıkta çalışabilmesi için akış hızları doğru ayarlanmalıdır. Çıkış stabilitesi, güç kaynağının stabil olmasına ve lambanın yaşına bağlıdır; bu yüzden değiştirme zamanları sadece saatlere göre değil, ölçülen ışınım değerlerine göre belirlenmelidir. Lambanın montaj yapıldığı yerle uyumlu olması ve yansıtıcının film yoluna doğru hizalanması da önemlidir.