ในกระบวนการผลิตชิปเซมิคอนดักเตอร์ การหั่นแผ่นวัสดุออกมาจะทิ้งฟิล์มที่ไวต่อรังสี UV ไว้ ซึ่งจำเป็นต้องถูกกำจัดออกอย่างสมบูรณ์ โดยไม่มีความร้อน ไม่มีสิ่งตกค้าง และไม่ทำให้ชิปเสียหาย หากเลือกหลอดไฟที่ไม่เหมาะสม ก็จะทำให้เกิดสารยึดเกาะที่ไม่สามารถกำจัดออกได้ ซึ่งหมายถึงต้องมีการปรับแก้ขั้นตอนการผลิตอีกครั้ง และส่งผลให้ประสิทธิภาพการผลิตลดลง
เราจึงออกแบบหลอดไฟ UV ที่สามารถจมอยู่ในของเหลวได้ เพื่อให้มีการปล่อยรังสี UV ในช่วงความยาวคลื่นที่เหมาะสม ทำให้สามารถกำจัดฟิล์มออกได้อย่างรวดเร็วและมีประสิทธิภาพ
สิ่งที่สำคัญทางเทคนิค สิ่งสำคัญคือการปรับความยาวคลื่นให้เหมาะสม คุณต้องตั้งค่าหลอดไฟให้สอดคล้องกับช่วงความยาวคลื่นที่ฟิล์มสามารถดูดซับรังสีได้ โดยปกติจะอยู่ที่ประมาณ 365 นาโนเมตร นอกจากนี้ยังต้องรักษาความเข้มของรังสีให้คงที่ ความเข้มสูงสุดของรังสีจะถูกกำหนดไว้ที่พื้นผิวที่ต้องการประมวลผล และพลังงานที่ใช้จะถูกส่งออกมาในปริมาณที่สามารถควบคุมได้
การออกแบบเปลือกหลอดไฟและตัวสะท้อนแสงนั้นทำขึ้นเพื่อให้มีรังสี UV ในปริมาณที่เพียงพอในบริเวณที่ต้องการ นอกจากนี้ยังมีการออกแบบให้ไม่มีก๊าซโอโซน เพื่อให้สภาพแวดล้อมในห้องปฏิบัติการยังคงสะอาด และเมื่อพูดถึงประสิทธิภาพของหลอดไฟ เราหมายถึงค่าทางเทคนิคจริงๆ ไม่ใช่ข้ออ้างทางการตลาด
เหตุผลที่วิธีนี้ได้ผลในการกำจัดฟิล์มหลังจากการหั่น ในขั้นตอนการกำจัดฟิล์มหลังจากการหั่น ความเร็วและการควบคุมเป็นสิ่งสำคัญเหมือนกัน หลอดไฟที่สามารถจมอยู่ในของเหลวได้จะช่วยให้ฟิล์มได้รับรังสี UV ในปริมาณที่เท่ากันในเวลาเดียวกัน
ความสม่ำเสมอนี้ช่วยป้องกันไม่ให้ขอบของฟิล์มถูกดึงขึ้นมา และช่วยให้กระบวนการกำจัดฟิล์มเป็นไปอย่างราบรื่น ส่งผลให้มีรอยแตกขนาดเล็กน้อยลง และลดความจำเป็นในการปรับแก้ขั้นตอนการผลิต นอกจากนี้ การใช้พลังงานก็ลดลง เพราะหลอดไฟสามารถปล่อยพลังงานในปริมาณที่เหมาะสมได้ โดยไม่มีการสูญเสียพลังงานไปกับช่วงความยาวคลื่นอื่นๆ
รายละเอียดที่ไม่สามารถมองข้ามได้ การใช้หลอดไฟที่สามารถจมอยู่ในของเหลวได้นั้น คุณต้องใส่ใจเรื่องความเข้ากันได้ของของเหลวที่ใช้เย็นหลอดไฟ และการปิดผนึกหลอดไฟให้ดี คุณต้องตรวจสอบวัสดุที่ใช้หุ้มหลอดไฟว่าเหมาะสมกับของเหลวที่ใช้เย็นหรือไม่ และต้องควบคุมอัตราการไหลของของเหลวให้เหมาะสม เพื่อให้หลอดไฟทำงานได้ในอุณหภูมิที่กำหนด
ความเสถียรของการปล่อยรังสีนั้นขึ้นอยู่กับความเสถียรของพลังงานและอายุของหลอดไฟ ดังนั้นคุณควรกำหนดเวลาในการเปลี่ยนหลอดไฟตามค่าความเข้มของรังสีที่วัดได้ ไม่ใช่เพียงแค่ตามจำนวนชั่วโมงเท่านั้น คุณต้องตรวจสอบให้แน่ใจว่าหลอดไฟมีขนาดที่เหมาะสมกับอุปกรณ์ที่ใช้ และต้องจัดวางตัวสะท้อนแสงให้เหมาะสม เพื่อไม่ให้เกิดเงาที่ขวางทางรังสี