Dalam proses pembuatan semikonduktor, proses pemotongan wafer akan menghasilkan lapisan yang sensitif terhadap cahaya UV. Lapisan ini perlu dibuang dengan cara yang tepat – tanpa menggunakan haba, tanpa meninggalkan sisa-sisa bahan, dan tanpa merosakkan permukaan wafer tersebut. Jika lampu yang digunakan tidak sesuai, maka lapisan tersebut akan tetap melekat pada wafer, sehingga memerlukan proses pemprosesan semula, dan ini akan menurunkan kadar pengeluaran produk.
Kami telah mencipta lampu UV yang boleh digunakan untuk tujuan ini: ia memiliki spektrum cahaya yang tepat, supaya proses pemisahan lapisan tersebut dapat dilakukan dengan cepat dan terkawal.
Apa yang benar-benar penting dari segi teknikalnya
Yang paling penting ialah penyelarasan panjang gelombang cahaya. Lampu tersebut perlu disetkan agar ia beroperasi pada frekuensi penyerapan cahaya oleh lapisan tersebut – biasanya sekitar 365 nm. Lebar spektrum cahaya juga perlu dikawal dengan teliti, dan keluaran cahaya perlu stabil. Intensiti cahaya puncak perlu ditentukan dengan tepat di permukaan wafer, dan tenaga yang digunakan perlu dikawal pada tahap mJ/cm².
Lapisan kuarsa dan reka bentuk reflektor dipilih agar cahaya UV dapat sampai ke tempat yang diperlukan. Reka bentuk yang bebas daripada ozon membantu menjaga kebersihan bilik pembuatan. Apabila kita berbicara tentang keluaran cahaya, kita maksudkan nilai radiometri spektral, bukan hanya janji-janji pemasaran.
Mengapa pendekatan ini berkesan dalam proses pemisahan lapisan selepas pemotongan
Dalam proses pemisahan lapisan selepas pemotongan, kelajuan dan kawalan adalah perkara yang sama pentingnya. Unit lampu yang kami gunakan membolehkan lapisan tersebut terdedah kepada cahaya UV yang seragam, sehingga seluruh permukaan lapisan tersebut mendapat dos cahaya yang sama pada masa yang sama.
Keseragaman ini dapat mengelakkan masalah seperti lapisan yang tidak terpisah sepenuhnya, sekali gus memastikan masa yang diperlukan untuk proses pemisahan adalah minimum. Hasilnya ialah kurangnya retakan pada permukaan wafer, kurangnya keperluan untuk pemprosesan semula, dan kelancaran proses pengeluaran. Penggunaan tenaga juga berkurangan, kerana lampu tersebut hanya menggunakan tenaga yang diperlukan, tanpa pembaziran tenaga.
Butiran yang tidak boleh diabaikan
Proses penggunaan lampu jenis ini memerlukan perhatian khusus terhadap keserasian bahan pendingin dan cara penyegelan lampu tersebut. Pastikan bahan pelindung lampu sesuai dengan sifat kimia bahan pendingin yang digunakan. Alirannya juga perlu dikawal agar suhu kuarsa tetap stabil.
Stabiliti keluaran cahaya bergantung pada kestabilan kuasa dan umur lampu tersebut. Oleh itu, gantilah lampu tersebut berdasarkan pengukuran intensiti cahaya yang dikeluarkan, bukan hanya berdasarkan masa penggunaannya. Pastikan lampu tersebut sesuai dengan dimensi alat yang digunakan, dan pastikan reflektor tersebut diselaraskan dengan betul agar tidak ada bayangan yang terbentuk.