Dalam proses pembuatan semikonduktor, proses pemotongan wafer meninggalkan lapisan yang sensitif terhadap sinar UV. Lapisan ini perlu dilepaskan dengan cara yang tepat—tanpa menggunakan panas, tanpa sisa-sisa zat kimia, dan tanpa merusak permukaan wafer tersebut. Jika lampu yang digunakan tidak sesuai, maka lapisan tersebut akan tetap menempel pada wafer, sehingga diperlukan proses perbaikan lagi. Hal ini tentu saja akan mengurangi efisiensi produksi.
Kami membuat lampu UV yang dapat digunakan untuk proses penghilangan lapisan tersebut. Lampu ini memiliki spektrum cahaya yang tepat, sehingga proses pelepasan lapisan tersebut berlangsung cepat dan terkendali.
Apa yang benar-benar penting secara teknis? Yang penting adalah kesesuaian panjang gelombang cahaya. Lampu harus diatur sedemikian rupa sehingga cahayanya sesuai dengan rentang penyerapan bahan fotoinisator pada lapisan tersebut—biasanya sekitar 365 nm. Lebar spektrum cahaya juga perlu dikontrol dengan baik, begitu pula intensitas cahayanya. Intensitas cahaya maksimal ditentukan di permukaan wafer, dan energi yang digunakan untuk proses pengeringan dihitung dalam satuan mJ/cm².
Struktur kaca kuarsa dan reflektor dipilih sedemikian rupa agar cahaya UV yang dihasilkan dapat mencapai area yang dibutuhkan. Desain yang bebas dari ozon memastikan lingkungan ruang kerja tetap bersih. Saat berbicara tentang output cahaya, yang dimaksud adalah nilai radiometri spektral, bukan klaim pemasaran.
Mengapa pendekatan ini efektif untuk proses pelepasan lapisan setelah pemotongan? Dalam proses pelepasan lapisan setelah pemotongan, kecepatan dan kontrol sangatlah penting. Lampu UV yang kami gunakan dapat membuat lapisan tersebut terkena cahaya secara merata, sehingga seluruh bagian lapisan tersebut dapat dilepaskan pada saat yang sama.
Keseragaman ini mencegah terjadinya keretakan di permukaan wafer, sehingga waktu proses menjadi lebih singkat dan gaya pelepasan lapisan tetap konsisten. Hasilnya adalah adanya lebih sedikit retakan pada permukaan wafer, sehingga proses perbaikan pun berkurang. Penggunaan energi pun berkurang, karena lampu hanya menghasilkan energi yang diperlukan, tanpa pemborosan energi di bagian spektrum lainnya.
Hal-hal yang perlu diperhatikan Karena lampu ini digunakan dalam kondisi terendam, maka perlu diperhatikan kompatibilitas bahan pendingin dan sistem penyegelan lampu. Pastikan bahan pelindung lampu sesuai dengan sifat kimia bahan pendingin yang digunakan. Selain itu, pastikan aliran fluida cukup untuk menjaga suhu kaca kuarsa tetap stabil.
Stabilitas output cahaya bergantung pada stabilitas daya dan usia lampu. Oleh karena itu, gantilah lampu sesuai dengan tingkat penurunan intensitas cahaya yang terukur, bukan hanya berdasarkan jumlah jam penggunaannya. Pastikan lampu cocok dengan dimensi alat yang digunakan, dan aturlah posisi reflektor agar tidak ada bayangan yang muncul.