در خط تولید نیمههادیها، فرآیند برش ویفرها باعث ایجاد لایهای حساس به نور UV میشود؛ لایهای که باید به طور کامل جدا شود؛ بدون استفاده از حرارت، بدون باقی ماندن هیچ مادهای، و بدون آسیب به سطح ویفر. اگر لامپ مناسبی انتخاب نشود، چسبی باقی میماند که اجازه جدا شدن لایه را نمیدهد؛ این امر منجر به نیاز به کارهای تکراری و کاهش بازدهی تولید میشود.
ما لامپهای UV برای این منظور ساختهایم: دارای تابش طیفی مناسب و دقیق، تا جدا شدن لایه به سرعت و در شرایط کنترلشده انجام شود.
آنچه از نظر فنی اهمیت دارد: مسئله در هماهنگی طول موج است؛ لامپ باید در بازه جذب نور توسط فیلم تنظیم شود؛ معمولاً حدود ۳۶۵ نانومتر. عرض طیف باید محدود باشد و تابش لامپ نیز ثابت بماند. شدت تابش در سطح کار، دقیقاً مشخص میشود؛ همچنین، تراکم انرژی مورد نیاز نیز به صورت دوز قابل پیشبینی، بر حسب میلیجول بر سانتیمتر مربع، ارائه میشود.
ساختار کوارتز و بازتابندهها نیز به گونهای انتخاب شدهاند که نور UV بیشتری در محل مورد نیاز ارائه شود. طراحی بدون ازت نیز به حفظ محیط پاک کمک میکند. وقتی صحبت از تابش میشود، منظور ما اندازهگیریهای طیفی است، نه ادعاهای تبلیغاتی.
چرا این روش در فرآیند جدا کردن لایهها مؤثر است: در فرآیند جدا کردن لایهها، سرعت و کنترل یکسان هستند. لامپهای غوطهور ما، فیلم را در میدان نور یکنواختی قرار میدهند؛ بنابراین کل خط اتصال لایهها، در یک زمان و با دوز یکسان، تحت تأثیر نور قرار میگیرد.
این یکنواختی باعث میشود که لایهها به طور کامل جدا شوند؛ در نتیجه، زمان انجام کار کاهش مییابد و نیروی لازم برای جدا کردن لایهها نیز یکنواخت خواهد بود. این روش باعث کاهش ترکهای ریز روی سطح ویفر، کاهش کارهای تکراری، و افزایش بازدهی تولید میشود. مصرف انرژی نیز کاهش مییابد؛ زیرا لامپ، انرژی مورد نیاز را دقیقاً در محل مورد نظر ارائه میدهد، بدون هدررفت انرژی در سایر بخشهای طیف.
جزئیاتی که نمیتوان نادیده گرفت: عملکرد لامپهای غوطهور نیازمند توجه به سازگاری آنها با مایعات خنککننده و محافظت از آنهاست. باید مواد ساختاری لامپ را با ویژگیهای مایعات خنککننده مطابقت داد؛ همچنین، روند جریان مایعات باید به گونهای باشد که کوارتز در دمای مورد نظر عمل کند.
ثبات تابش لامپ، به استحکام منبع تغذیه و سن لامپ بستگی دارد؛ بنابراین، تعویض لامپ باید بر اساس اندازهگیریهای مربوط به شدت تابش انجام شود، نه فقط بر اساس ساعات کارکرد لامپ. همچنین، باید مطمئن شد که لامپ از نظر ابعادی با تجهیزات مربوطه سازگار باشد؛ همچنین، بازتابنده باید به گونهای تنظیم شود که سایهای روی فیلم ایجاد نشود.