V průmyslu polovodičů zanechává proces řezání čipů na destičkách film citlivý na UV záření. Tento film je potřeba odstranit bez použití tepla, bez zbytků a bez poškození samotného čipu. Pokud zvolíte špatnou lampu, zůstane tam lepidlo, které neumožní správné odstranění filmu. To znamená nutnost další práce a snížení výtěžnosti.
Vytvořili jsme ponořitelné UV lampy právě pro tento účel – s správným spektrálním výstupem, přesně zaměřeným tak, aby odstranění filmu proběhlo rychle a pod kontrolou.
Co je vlastně technicky důležité? Jde o shodu vlnové délky. Lampu nastavíte na frekvenci absorpce fotoiniciátoru v filmu – obvykle kolem 365 nm. Spektrální šířku udržujete co nejmenší a výstupní sílu stabilní. Maximální intenzita záření je určena přímo v pracovní rovině, přičemž energie je dodávána v konstantní míře v jednotkách mJ/cm².
Kvartový plášť a geometrie reflektoru jsou vybrány tak, aby se dosáhlo co největšího množství UV záření tam, kde je potřeba. Design bez ozonu zajistuje čisté prostředí v čistírně. Když mluvíme o výstupu, myslíme tím spektrální radiometrii, ne pouze marketingové tvrzení.
Proč tento přístup funguje při odstraňování filmu po řezání? Při odstraňování filmu po řezání je rychlost a kontrola stejně důležité. Naše ponořitelné lampy ponoří film do homogenního pole, takže celá plocha filmu dostane stejnou dávku ve stejnou dobu.
Právě tato homogenita zabrání zvednutí okrajů filmu a neúplnému odstranění. To zase zaručuje konstantní čas provozu a sílu odstranění filmu. Výsledkem je méně mikrotrhlin na křehkých čipech, méně práce a možnost plánování výrobní kapacity. Spotřeba energie klesá, protože lampa dodává potřebnou energii přímo na cíl, bez plýtvání energií v celém spektru.
Na co nesmíte zapomenout: Ponořitelné použití znamená, že musíte věnovat pozornost kompatibilitě chladivek a utěsňování. Ujistěte se, že materiál pouzdra lampy je kompatibilní s vaším chladivem. Udržujte také správný průtok chladivého média, aby kvartový plášť fungoval při určené teplotě.
Stabilita výstupu závisí na stabilitě napájení a stáří lampy. Proto plánujte výměnu lampy na základě měřené změny intenzity záření, ne pouze na základě počtu hodin provozu. Ujistěte se, že lampa pasuje do rozměrů vašeho zařízení, a zarovnejte reflektor tak, abyste zabránili vzniku stínů.