في خط إنتاج أشباه الموصلات، يترك عملية تقطيع الرقائق طبقة حساسة للأشعة فوق البنفسجية، ويجب إزالة هذه الطبقة بشكل كامل، دون استخدام الحرارة أو ترك أي بقايا، ودون إلحاق أي ضرر بالرقائق. إذا تم اختيار مصباح خاطئ، فإن الطبقة المتبقية ستظل ملتصقة بالرقائق، مما يتطلب إعادة العمل من جديد، وبالتالي يقل معدل الإنتاج.
لقد صممنا مصابيح UV قادرة على التعامل مع هذه المشكلة، حيث توفر هذه المصابيح نطاقًا طيفيًا مناسبًا، مما يسمح بإزالة الطبقة المتبقية بسرعة وبشكل فعال.
ما يهم فعلاً من الناحية التقنية الأمر يتعلق بمطابقة الطول الموجي. يتم ضبط المصباح على نطاق امتصاص المواد الفوتومحفزة في الطبقة، وهو عادةً حوالي 365 نانومتر، مع الحفاظ على عرض النطاق الطيفي ضيقًا، والحفاظ على استقرار الإشعاع. يتم تحديد شدة الإشعاع في مستوى العمل، ويتم توفير كثافة الطاقة المطلوبة بشكل متكرر، بقيمة محددة بالميليجول/سم².
يتم اختيار تصميم الغلاف الكوارتزي والمرآة بحيث يتم الحصول على أقصى قدر من الأشعة فوق البنفسجية في المكان المطلوب. كما أن التصميم خالٍ من الأوزون، مما يساعد في الحفاظ على بيئة نظيفة في غرفة العمليات. وعند الحديث عن الإخراج، فإننا نتحدث عن قياسات طيفية، وليس عن مزاعم تسويقية.
لماذا ينجح هذا النهج في عملية إزالة الطبقة بعد القطع في عملية إزالة الطبقة بعد القطع، فإن السرعة والتحكم في العملية أمران مترابطان. تقوم وحداتنا بغمر الطبقة في مجال إشعاعي موحد، بحيث تحصل الطبقة بأكملها على نفس الجرعة في نفس الوقت.
هذا التوحيد يمنع رفع الحواف وعدم إزالة الطبقة بشكل كامل، مما يساعد في الحفاظ على استمرارية العملية واستقرار قوة الإزالة. النتيجة هي وجود عدد أقل من الشقوق الدقيقة في الرقائق، وتقليل الحاجة إلى إعادة العمل، بالإضافة إلى زيادة معدل الإنتاج. كما أن استهلاك الطاقة يقل، لأن المصباح يوفر الطاقة المطلوبة في المكان المناسب، دون إهدار الطاقة في النطاقات الطيفية الأخرى.
التفاصيل التي لا يمكن تجاهلها يتطلب العمل بالمصابيح المغمورة الانتباه إلى توافق المبرد مع المصباح، بالإضافة إلى التأكد من أن تدفق السائل مناسب للحفاظ على درجة حرارة الكوارتز عند المستوى المطلوب.
يعتمد استقرار الإخراج على استقرار الطاقة وعمر المصباح، لذا يجب تحديد موعد استبدال المصباح بناءً على قياسات الإشعاع، وليس فقط بناءً على عدد الساعات التي يعمل بها المصباح. يجب أيضًا التأكد من أن المصباح يتناسب مع أبعاد الجهاز، وتوجيه المرآة بحيث لا تكون هناك ظلال تؤثر على عملية الإزالة.